碳化硅烧结炉是用来反应烧结碳化硅的真空烧结炉，最高温度1800度，极限真空度5x10-1pa，保温层为石墨板和碳毡复合结构，加热室为密闭形式，阻止硅蒸汽溢出，加热材料为石墨，有充气排胶系统。

工作区有，446,4413,,5514,6620，8812，7732，8840等多种规格。